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净化知识基本术语

1．洁净度100级cleanlinessclass100
大于等于0.5μm的尘粒数大于350粒／m3(0.35粒/L)到小于等于3500粒／m3(3.5粒/L)；大于等于5μm的尘粒数为0。

2．洁净度1000级cleanlinessclass1000
大于等于0.5μm的尘粒数大于3500粒／m3(3.5粒/L)到小于等于35000粒／m3(35粒/L)；大于等于5μm的尘粒数小于等于300粒／m3(0.3粒／L)。

3．洁净度10000级cleanlinessclass10000
大于等于0.5μm的尘粒数大于35000粒／m3(35粒/L)到小于等于350000粒／m3(350粒／L)；大于等于5μm的尘粒数大于300粒／m3(0.3粒/L)到小于等于3000粒／m3(3粒/L)。

4．洁净度100000级cleanlinessclass100000
大于等于0.5μm的尘粒数大于350000粒／m3(350粒/L)到小于等于3500000粒／m3(3500粒／L)；大于等于5μm的尘粒数大于3000粒／m3(3粒／L)到小于等于30000粒／m3(30粒／L)。

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